Komponenty główne
|
-
Komora eksperymentalna
-
Komora załadowcza
-
Manipulator wieloosiowy
-
Elementy systemu pozycjonowania
-
Stelaż i podpory pod komory
|
Systemy kolimacji i odchylania wiązki
|
-
Okno wyjściowe
-
Zwierciadło do przemiatania
|
Aparatura próżniowa
|
-
Komory wyżej wymienione
-
Pompy turbomolekularne
-
Pompy jonowe
-
Pompy próżni wstępnej (typu Scroll lub inne bezolejowe)
-
Elementy przyłączeniowe dla próżni UHV
-
Spektrometr LEED/AES
|
Aparatura pomiarowa
|
-
Spektrometr masowy
-
Detektor „channel plate”
|
Elementy infrastruktury technicznej
|
-
Przyłącza systemu stabilizacji cieplnej niskotemperaturowej (hel)
-
Przyłącza systemu stabilizacji cieplnej niskotemperaturowej (azot)
-
Przyłącza systemu stabilizacji cieplnej (woda)
-
Przyłącza systemów dystrybucji gazów technicznych
-
Podpory oraz systemy pozycjonowania
-
Okablowanie systemowe
-
Czujniki przepływu, czujniki ciśnienia, czujniki temperatury, filtry
|